西周為犬戎、西申（白翟）地。
東周、春秋時屬林胡地。
戰(zhàn)國北屬林胡，南歸魏境。
秦屬上郡膚施縣。
西漢分屬朔方刺史部上郡奢延縣和膚施縣。
東漢屬并州刺史部上郡膚施、奢延縣，今響水一帶屬圁陰縣。
東晉、十六國時期先后屬大夏、前趙、前秦、后秦。
北魏屬夏州化政郡巖綠縣。
北周保定三年（563）今橫山鎮(zhèn)東黨岔為銀州治，隋開皇三年（583）于州治兼設(shè)儒林縣，大業(yè)十三年（617）屬梁國。
清雍正九年（1731）升懷遠(yuǎn)堡置懷遠(yuǎn)縣，屬榆林府。
1913年改懷遠(yuǎn)縣為橫山縣，隸屬榆林道。
1928年榆林道撤消，省直轄。
1935年屬第一行政督察區(qū)。
1946年陜甘寧邊區(qū)橫山縣政府由初設(shè)的韓岔遷殿市鎮(zhèn)。
1948年屬榆林分區(qū)，1949年11月設(shè)河北區(qū)，1950年初，河北區(qū)劃榆林，1958橫山縣制撤銷，本境分別劃入榆林、靖邊、米脂縣。